數(shù)位顯微鏡

KEYENCE的數(shù)位顯微鏡擁有高景深、觀察距離長(zhǎng)的特點(diǎn)，使表面凹凸或立體形貌均可清晰觀察。產(chǎn)品陣容包含：可媲美SEM高精細(xì)觀察之進(jìn)階整合系統(tǒng)機(jī)種，以及內(nèi)建各種高使用頻率機(jī)能的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)種。此外，還備有可使數(shù)位顯微鏡性能發(fā)揮至極限的專用鏡頭。

下載型錄

產(chǎn)品陣容

VHX-X1 系列 - 數(shù)位顯微鏡

配備了同級(jí)最高解析度的4K CMOS以及4K支援鏡頭，並搭載了進(jìn)階光學(xué)陰影效果模式，使以往無(wú)法看見的細(xì)微凹凸也能清晰地觀察。具備多種自訂選項(xiàng)，能應(yīng)對(duì)各種分析任務(wù)。包括瞬間自動(dòng)判別差異的異常識(shí)別功能、分析範(fàn)圍是以往9倍的300 mm大型載物臺(tái)、支援金相顯微鏡的高解析度轉(zhuǎn)盤式鏡頭等功能。

產(chǎn)品型錄 了解價(jià)格

VHX-XF 系列 - 數(shù)位顯微鏡

將VHX系列的核心功能「觀察、儲(chǔ)存、量測(cè)」集於一身。這是一款可藉由簡(jiǎn)單的操作實(shí)現(xiàn)高使用頻率功能的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)種。實(shí)現(xiàn)了光學(xué)顯微鏡20倍以上的大景深?？梢詮娜轿唤嵌冗M(jìn)行細(xì)微的觀察。也搭載了景深合成＆3D顯示功能，使凹凸目標(biāo)物的觀察更加清晰，以及照明切換等數(shù)位顯微鏡特有的便利放大觀察功能?？筛鶕?jù)用途選擇最適合的載物臺(tái)和軟體。

產(chǎn)品型錄 了解價(jià)格

通常所稱的「光學(xué)顯微鏡」是指透過目鏡進(jìn)行觀察的光學(xué)式顯微鏡。而數(shù)位顯微鏡（又稱為數(shù)字式顯微鏡）則不需要目鏡，而是搭載了攝影機(jī)，可以將觀察對(duì)象放大顯示到電腦或顯示器上。相較於肉眼觀察的顯微鏡，數(shù)位顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)之一是可以在顯示器上進(jìn)行觀察，因此可以方便地多人同時(shí)觀察和共享資訊。

數(shù)位顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)

數(shù)位顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)是比一般的光學(xué)顯微鏡的景深更深。
景深的深度是指用鏡頭拍攝下立體物時(shí)對(duì)焦的寬度。

景深（對(duì)焦寬度）深的優(yōu)點(diǎn)是，即便觀察凹凸不平的目標(biāo)物，由於對(duì)焦的範(fàn)圍廣，也能迅速而準(zhǔn)確地觀察到目標(biāo)物的全貌。

數(shù)位顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)之一是「觀察距離長(zhǎng)」。
觀察距離是指動(dòng)作距離、工作距離（WD），即鏡頭前端（包含照明適配器等）到目標(biāo)物的距離。

觀察距離越長(zhǎng)，相應(yīng)地能觀察到目標(biāo)物的深處，將鏡頭傾斜進(jìn)行觀察時(shí)，也能確保鏡頭不觸碰到目標(biāo)物或載物臺(tái)表面完成觀察。

大多數(shù)光學(xué)顯微鏡在更換鏡頭、改變倍率時(shí)都會(huì)採(cǎi)用旋轉(zhuǎn)鏡頭的方式。旋轉(zhuǎn)方式…安裝幾個(gè)定焦鏡頭，透過旋轉(zhuǎn)來(lái)切換鏡頭
而數(shù)位顯微鏡則通常採(cǎi)用變焦鏡頭。變焦鏡頭是只要旋轉(zhuǎn)變焦環(huán)，就能改變鏡頭的倍率。旋轉(zhuǎn)方式下，如果每個(gè)鏡頭的觀察距離不同，那麼每次改變倍率時(shí)都需要對(duì)焦視野和調(diào)焦。

數(shù)位顯微鏡的導(dǎo)入案例

汽車/航空相關(guān)產(chǎn)業(yè)

介紹了汽車零件異物混入量測(cè)、分析，以及工具磨損、壽命管理與評(píng)估定量化等案例

更多內(nèi)容

電子元件產(chǎn)業(yè)

介紹了封裝印刷電路板、電子零件故障分析，鍍膜不良種類、原因與觀察、評(píng)估課題解決等案例

更多內(nèi)容

醫(yī)療/醫(yī)藥/化妝品產(chǎn)業(yè)

介紹了利用醫(yī)療器材量測(cè)、檢查品質(zhì)管理、保證，以及皮膚與毛髮觀察、量測(cè)、評(píng)估等案例

更多內(nèi)容

化學(xué)/材料/素材產(chǎn)業(yè)

介紹了焊接處的焊透組織觀察、高功能多層膜、印表機(jī)印刷品質(zhì)與構(gòu)成零件觀察、分析等案例

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分析金屬斷裂面

在觀察如斷裂面等3D立體物的每一項(xiàng)特徵時(shí)，必須多次對(duì)焦，分析極為耗時(shí)。4K數(shù)位顯微鏡VHX系列具備即時(shí)景深合成功能，可對(duì)整個(gè)金屬斷裂面進(jìn)行對(duì)焦。由此，不僅節(jié)省了調(diào)焦的時(shí)間，還可對(duì)斷裂面上的大量複雜的形狀進(jìn)行觀察和評(píng)估。

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皮膚與毛髮之觀察、量測(cè)、評(píng)價(jià)

評(píng)估表面形狀的深淺和粗糙度時(shí)，形狀的高低差越小，對(duì)比度越低，因此越難觀察和評(píng)估。以往顯微鏡的缺點(diǎn)是由於照明和角度不同，影像的視覺效果也不同，容易因反射而產(chǎn)生光暈，並降低對(duì)比度。結(jié)果就是很難觀察到淺淺的凹陷，而將其遺漏。4K數(shù)位顯微鏡VHX系列具有多重照明功能，可自動(dòng)獲取全方位的照明資料。從中選擇最適合觀察的影像，可大幅縮短照明設(shè)定的時(shí)間。

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金屬結(jié)構(gòu)的觀察

對(duì)只有部份對(duì)焦的金屬結(jié)構(gòu)進(jìn)行觀察非常耗時(shí)。此外，觀察和分析此類拍攝物體還需要一定的經(jīng)驗(yàn)，妨礙了獲得精確的結(jié)果。4K數(shù)位顯微鏡VHX系列搭載了即時(shí)景深合成介面，透過此介面就能夠迅速且簡(jiǎn)單地觀察已對(duì)焦影像的景深合成。此外，還可自動(dòng)分析結(jié)晶粒度，排除操作人員的主觀性。

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觀察、分析微生物

大多數(shù)微生物的特點(diǎn)是透明度極高，觀察影像的對(duì)比度極低。因此，3D立體的絲狀真菌和微小細(xì)菌等很難透過高倍率進(jìn)行觀察以及定量分析。數(shù)位顯微鏡VHX系列搭載了透過型偏光照明、HDR等各種照明功能和拍攝功能，可以獲得高色階影像。此外，VHX系列還可自動(dòng)統(tǒng)計(jì)菌群的數(shù)量，並匯總顯示各菌群的大小。

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以高解析度拍攝礦物為目的的偏光觀察

在進(jìn)行礦物的偏光觀察時(shí)，必須清晰地捕捉因不同的觀察方法和角度而呈現(xiàn)的變化。然而，準(zhǔn)確設(shè)定照明條件是件困難的事情，評(píng)估結(jié)果也會(huì)因人而異。VHX系列可透過平行尼科爾稜鏡或正交尼科爾稜鏡進(jìn)行偏光觀察，還可進(jìn)行背光型偏光照明。此外，VHX系列還有透過歷史影像調(diào)取照明條件的功能，可以獲得連貫性的結(jié)果。

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半導(dǎo)體晶圓和IC設(shè)計(jì)的觀察、量測(cè)

數(shù)位顯微鏡VHX系列採(cǎi)用了全新的顯微鏡檢查技術(shù)「光學(xué)陰影效果模式（Optical Shadow Effect Mode）」，能透過高解析度的鮮明影像實(shí)現(xiàn)高倍率觀察，與掃描式電子顯微鏡（SEM）匹敵。使用光學(xué)陰影效果模式，可以對(duì)晶圓的表面狀態(tài)、缺陷膜、異物等進(jìn)行觀察。此外，還可自動(dòng)量測(cè)光掩模區(qū)域或3D形狀。VHX系列的先進(jìn)功能大幅提升了晶圓、積體電路的檢測(cè)和分析能力。

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數(shù)位顯微鏡相較於其他類型的顯微鏡來(lái)說，特點(diǎn)是觀察功能高，操作方便，不受操作者的技能影響。不過，根據(jù)顯微鏡是用於個(gè)人觀察、還是製造業(yè)的品質(zhì)管理、亦或是研究觀察，要求的性能和價(jià)格天差地別。在此介紹針對(duì)各種用途來(lái)選擇數(shù)位顯微鏡的重點(diǎn)。

倍率和視野（觀察範(fàn)圍）

立體顯微鏡的光學(xué)倍率是物鏡的倍率和目鏡倍率相乘計(jì)算得來(lái)。而數(shù)位顯微鏡則是在畫面上觀察影像，因此其倍率是鏡頭的光學(xué)倍率乘以顯示器的顯示尺寸得出的值。此倍率稱為綜合倍率，可透過以下公式計(jì)算。
綜合倍率 = 顯示器倍率 × 光學(xué)倍率
光學(xué)倍率是以鏡頭的刻度來(lái)顯示。顯示器的倍率根據(jù)影像感測(cè)器或顯示器尺寸不同而有所差異，透過以下的公式計(jì)算得來(lái)。
顯示器倍率 = （以英吋為單位的顯示器尺寸 × 16*）／影像感測(cè)器的尺寸*
* 光學(xué)式尺寸（單位：英吋）
與此相對(duì)，視野的廣度（觀察範(fàn)圍）與綜合倍率成反比。例如，設(shè)想倍率為50倍時(shí)，將10 × 6 mm的區(qū)域顯示在顯示器上的場(chǎng)景。當(dāng)倍率提高100倍或200倍時(shí)，顯示器上的視野將分別縮小至5 × 3 mm、2.5 × 1.5 mm。像這樣，提高倍率，影像放大，可以觀察到細(xì)節(jié)，但與此同時(shí)，視野也將變窄。

數(shù)位顯微鏡有物鏡倍率、綜合倍率和顯示器倍率，選擇倍率時(shí)，需注意型錄中記載的產(chǎn)品指的是哪種倍率，以及想要放大觀察對(duì)象的哪一個(gè)部分進(jìn)行觀察。在此基礎(chǔ)上，來(lái)選擇倍率和視野都滿足需求的數(shù)位顯微鏡吧。

照明方法

使用數(shù)位顯微鏡時(shí)，如果照明選用不合適，即便使用高性能的鏡頭，目標(biāo)物還是很模糊。要解決這個(gè)問題，選擇與觀察的目標(biāo)物相匹配的照明方法很重要。
照明大體分為4類。此處將說明4種照明各自的特征和優(yōu)點(diǎn)。

同軸落射照明

A：鏡頭 B：光源 C：半反射鏡 D：目標(biāo)物

同軸照明的光走向與鏡頭的光學(xué)路徑一致。同軸落射照明是透過半反射鏡，讓照射到目標(biāo)物的光軸與鏡頭光軸平行。此照明方法在觀察鏡面加工的金屬表面或光滑的塑膠表面，以及類似半導(dǎo)體晶圓的鏡面反射目標(biāo)物時(shí)使用，或者在觀察目標(biāo)物的結(jié)構(gòu)和表面光澤的差異，而非形狀時(shí)使用。

環(huán)狀照明

A：鏡頭 B：目標(biāo)物

環(huán)狀照明的光將從鏡頭兩側(cè)傾斜著照射。此照明方法可透過表面形狀形成的對(duì)比度，將輪廓清晰地拍攝下來(lái)。此照明方法主要是在50至300倍的倍率下，觀察表面粗糙的目標(biāo)物或無(wú)光滑、無(wú)光澤的目標(biāo)物時(shí)使用。

背光照明

A：鏡頭 B：玻璃板 C：目標(biāo)物 D：光源

背光照明是光從透明的目標(biāo)物下方穿過鏡頭，進(jìn)入影像感測(cè)器。因此，考慮到目標(biāo)物的厚度，景深大的鏡頭更適合。此照明方法在觀察透明目標(biāo)物內(nèi)部的形狀、液體中的乳白色渾濁物、或微生物時(shí)使用。

可調(diào)照明

此照明方法可以即時(shí)改變光的方向，強(qiáng)調(diào)形狀的狀態(tài)。將光照射到目標(biāo)物上即時(shí)調(diào)整，即可觀察細(xì)微的形狀。

顯示器顯示

數(shù)位顯微鏡的最大特點(diǎn)之一是可以多人同時(shí)確認(rèn)顯微鏡的影像。將重點(diǎn)關(guān)注的部位拍攝成影片，細(xì)節(jié)部位顯示在顯示器上，可以多人現(xiàn)場(chǎng)確認(rèn)，從而有助於共有問題。
顯示器的解析度多種多樣，從約200萬(wàn)畫素到1000萬(wàn)畫素以上都有。選擇倍率和視野（觀察範(fàn)圍）時(shí)，根據(jù)用途選擇解析度很重要。

記錄、量測(cè)功能

若要在各部門間共用、分析、評(píng)價(jià)數(shù)位顯微鏡獲取的觀察資料，需要有大容量的存儲(chǔ)系統(tǒng)和對(duì)應(yīng)網(wǎng)路辦公的功能。需考慮的點(diǎn)有，能否儲(chǔ)存觀察用的影像，能否儲(chǔ)存量測(cè)倍率或照明的設(shè)定值，是否有透過觀察資料，對(duì)輪廓度、區(qū)域、個(gè)數(shù)進(jìn)行量測(cè)的分析軟體等。

例：異物混入量測(cè)

KEYENCE顯微鏡的特點(diǎn)

KEYENCE的一體式數(shù)位顯微鏡採(cǎi)用了遠(yuǎn)心HR鏡頭、4K CMOS影像感測(cè)器和27英吋的4K顯示器。解析度高、景深大的鏡頭，配上高精細(xì)低干擾的影像感測(cè)器，再加上大型4K顯示器的組合，實(shí)現(xiàn)了高倍率、廣視野觀察。
搭載了多重照明功能，可自動(dòng)匹配到最合適的照明模式。只要按一下按鈕，即可自動(dòng)取得全方位照明資料，選擇最適合觀察的影像。
只要按一下按鈕，即可儲(chǔ)存畫面上的影像、量測(cè)結(jié)果、觀察設(shè)定等。還可透過網(wǎng)路隨時(shí)在公司內(nèi)共享儲(chǔ)存的資料。安裝試算表軟體、辦公軟體，即可製作報(bào)告。
KEYENCE的數(shù)位顯微鏡可實(shí)現(xiàn)高解析度觀察和高畫質(zhì)顯示，不僅不需要耗時(shí)的照明設(shè)定，還具備分析、報(bào)告功能，可共用資料、提交報(bào)告，是一種便利的複合型工具。

高NA、高解析度的遠(yuǎn)心HR鏡頭

多重照明觀察（放大了1000倍的研磨金屬表面）

KEYENCE自1974年創(chuàng)業(yè)以來(lái)，就是產(chǎn)業(yè)用自動(dòng)化裝置和檢查裝置的領(lǐng)軍者。KEYENCE作為市場(chǎng)領(lǐng)頭羊，一直以來(lái)都提升著企業(yè)自身的行業(yè)地位，這是對(duì)追求先進(jìn)技術(shù)，持續(xù)滿足客戶需求所做出的承諾。KEYENCE是行業(yè)公認(rèn)的領(lǐng)頭公司，若您考慮購(gòu)買我司的數(shù)位顯微鏡，歡迎您參閱型錄後洽詢我司。

對(duì)使用了顯微鏡、數(shù)位顯微鏡的放大觀察涉及的基本用語(yǔ)和實(shí)際案例進(jìn)行說明。關(guān)於顯微鏡之基本構(gòu)造、原理，主要類型、性能，以及顯微鏡之歷史、照明法/觀察法/光學(xué)系統(tǒng)等入門指南請(qǐng)由此進(jìn)入

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數(shù)位顯微鏡的相關(guān)常見問題

數(shù)位顯微鏡搭載了高精度的數(shù)位CAMERA，可將觀察對(duì)象顯示在顯示器上進(jìn)行觀察。而立體顯微鏡則搭載了與左右眼相對(duì)應(yīng)的2個(gè)目鏡，可對(duì)目鏡中的影像進(jìn)行觀察。數(shù)位顯微鏡的倍率是幾十倍至幾千倍，立體顯微鏡是十倍至幾十倍。此外，針對(duì)每個(gè)觀察者不同的眼睛寬度和視度等，立體顯微鏡需做調(diào)整。
通常來(lái)說，數(shù)位顯微鏡適合長(zhǎng)時(shí)間的觀察、定位和尺寸量測(cè)。此外，還可以將影像儲(chǔ)存到HDD或使用工具進(jìn)行影像處理、影像分析等。而立體顯微鏡由於視野廣、動(dòng)作距離長(zhǎng)，因此可用於精密零件的組裝與檢查、解剖、細(xì)胞操作等方面。

KEYENCE擁有超過20年的數(shù)位顯微鏡製造經(jīng)驗(yàn)。我們將客戶的每個(gè)反饋都運(yùn)用到下一代產(chǎn)品的開發(fā)中，並提供解決客戶問題的產(chǎn)品。VHX系列數(shù)位顯微鏡的設(shè)計(jì)目的是解決傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡存在的景深淺、觀察距離短、難以搬運(yùn)、通用性低、樣品觀察受阻等問題。

數(shù)位顯微鏡可用於行觀察、檢查、分析絕大多數(shù)尺寸的樣品。當(dāng)有光學(xué)顯微鏡、SEM無(wú)法滿足的需求時(shí)，都可透過數(shù)位顯微鏡來(lái)解決。3D數(shù)位顯微鏡已獲得電子設(shè)備、醫(yī)療器材、材質(zhì)研究、汽車等各產(chǎn)業(yè)的廣泛採(cǎi)用。關(guān)於各產(chǎn)業(yè)的用途，詳見「用途範(fàn)例」頁(yè)面。

KEYENCE數(shù)位顯微鏡持續(xù)擔(dān)當(dāng)著市場(chǎng)的領(lǐng)軍者。20多年前，KEYENCE首次開發(fā)了數(shù)位顯微鏡，並將顧客反饋的意見應(yīng)用在了下一代面向科學(xué)領(lǐng)域的數(shù)位顯微鏡上。正因?yàn)楦冻隽诉@些努力，KEYENCE總是能夠?yàn)橐痪€客戶提供產(chǎn)品，助其解決實(shí)際面臨的問題。

通常使用的顯微鏡有數(shù)位顯微鏡、復(fù)合顯微鏡、立體顯微鏡、金相顯微鏡、偏光顯微鏡等。數(shù)位顯微鏡以外的其他顯微鏡各自具有獨(dú)特的用途，而數(shù)位顯微鏡則是將這些功能集於一體，實(shí)現(xiàn)了高速的處理能力和高效的流程化業(yè)務(wù)。