光譜干涉式位移計

產(chǎn)品陣容

SI-F 系列 - 微型光譜干涉雷射位移計

世界首創(chuàng)微型感測頭，擁有同類產(chǎn)品中最高的量測精度，並達(dá)到過去認(rèn)為不可能實(shí)現(xiàn)的性能。

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SI-F80R 系列 - 光譜干涉晶圓測厚儀

採用近紅外 SLD，即使已貼附 BG 帶也可量測晶圓本身的厚度。即使晶圓表面存在由於圖樣而產(chǎn)生的顯著差異，也可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的生產(chǎn)線上量測。

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