WI-5000 系列可在 0.13 秒內(nèi)捕捉最大 10 × 10 mm 的三維影像,並同時(shí)記錄 80,000 個(gè)高度數(shù)據(jù)點(diǎn),可進(jìn)行高精度的高度、共平面性及表面粗糙度(Sa、Sz)量測。利用白光干涉技術(shù),可進(jìn)行同軸表面量測,有效消除因溝槽或急劇高度變化造成的死角。此原理可在透明或鏡面等各類表面上實(shí)現(xiàn)高精度且可重複的 3D 量測。高速特性適合線上檢測,另提供可調(diào)式支架,亦能應(yīng)用於線下快速自動量測。